中評社北京12月10日電／據人民網報道，時值冬季，各種美輪美奐的冰雕又要出場，西湖大學科研團隊展示了一種“冰雕”絕活兒。他們的“冰雕”，小到微米甚至納米級別。
記者12月9日從西湖大學獲悉，近兩個月來，西湖大學納米光子學與儀器技術實驗室負責人仇旻和他的研究團隊在《納米快報》《納米尺度》《應用表面科學》等國際知名期刊上，連續發表了一系列關於冰刻的研究成果。
在微米甚至納米級別的“冰雕”上，該研究團隊已經可以實現從精確定位到精准控制雕刻力度，再到以“冰雕”為模具製作結構、加工器件——一種新型三維微納加工系統雛形初現。
光刻膠之短，“冰膠”之長
要理解他們研發的冰刻技術，需要先了解傳統的電子束光刻技術。
在傳統的電子束光刻技術中，通常需要將一種叫做光刻膠的材料均勻地塗抹在晶片表面。
電子束作用在光刻膠上，會改變相應位置的光刻膠性質。隨後再進行洗膠、填金屬、再洗膠等一系列流程。
可以看出，光刻膠是微納加工過程中非常關鍵的材料，不過，光刻膠也存在一定局限性。
“在樣品上塗抹光刻膠，這是傳統光刻加工的第一步。這個動作有點像攤雞蛋餅，如果鐵板不平整，餅就攤不好。同時，被抹膠的地方，面積不能太小，否則膠不容易攤開攤勻；材質不能過脆，否則容易破裂。”仇旻實驗室助理研究員趙鼎說。 |
