“‘冰刻1.0’系統的儀器體積較小、功能單一,適用於簡單微納結構的製作……當前‘冰刻2.0’的研發才剛剛開始,但系統的硬件設施已初具雛形。”趙鼎告訴科技日報記者,該團隊的目標是實現“原料進,成品出”的一站式微納加工。
從全球範圍來看,冰刻技術的研發仍處於起步階段。這樣的技術,將來有哪些用場?
在仇旻看來,從本質上講,“冰刻”仍屬於電子束光刻。但它作為一種綠色且“溫和”的加工手段,尤其適用於非平面襯底或者易損柔性材料,甚至生物材料。
“在電子束光刻這個框架體系下,冰膠與傳統光刻膠之間更像是互補關係。傳統光刻膠工藝成熟,特別適合在大面積平整襯底上加工,冰膠則在微小的、不規則的或者非平面的襯底上加工優勢更加突出。”趙鼎說,目前來看,冰刻技術的應用場景集中在基於光纖、納米線、納米管以及二維材料的新型光電子器件制備。
復旦大學物理系主任、超構材料與超構表面專家周磊教授評價說,這項工作對於研發集成度更高、功能性更強的光電器件具有重要的現實意義。
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