以深紫外激光光發射電子顯微鏡(PEEM)為例，目前國際上最先進的光發射電子顯微鏡空間分辨率最高為20nm，而採用全固態激光器後能提高到3.9nm。中科院大連化物所利用這台儀器開展了石墨烯/Ru(0001)表面插層反應原位觀測，為石墨烯等光電子材料發展和應用提供了強有力的研究手段。
詹文山透露，目前2mm以下的KBBF晶體已可小批量生產，滿足國內市場需求。8台科學儀器中，PEEM正在逐步進行產業化嘗試。
“晶體—光源—裝備—科研—產業化，深紫外固態激光源前沿裝備研製項目打造了一條自主創新鏈，涵蓋了從提出原創科學思想到實現應用成果這一完整的科學價值鏈，為學科交叉面廣、跨度大、探索性和工程性很強的原創性重大科研裝備創新積累了經驗，也為中科院各業務管理單元合理分工、深度融合、協力創新提供了典型樣本。”白春禮評價道。
“這僅僅是深紫外波段儀器應用的開始。”許祖彥透露，項目二期將從物理、化學、材料拓展到信息、資環、生命等領域，開展6台國際領先水平的儀器設備研製工作，繼續推動深紫外技術的深度開發。
同時，在一期任務順利完成基礎上，去年中科院理化所聯合北京中科科儀等單位，在科技部支持下啟動了深紫外儀器設備產業化開發工作，逐步將研製成功的深紫外儀器設備推向市場。 |
