如果把光刻膠換成薄薄的一層冰，會是什麼樣的效果？
“我們把樣品放入真空設備後，先給樣品降溫再注入水蒸氣，水蒸氣就會在樣品上凝華成薄薄的冰層。”趙鼎說，光刻膠之所短恰恰是水之所長。
因為，在零下140攝氏度左右的真空環境中，水蒸氣可以包裹任意形狀的表面，哪怕是極小的樣品也沒有問題；水蒸氣的輕若無物，也使在脆弱材料上加工變成可能。
對應光刻膠，科研人員給這層水冰起名“冰膠”，給冰膠參與的電子束光刻技術起名“冰刻”。
趙鼎介紹，一旦將光刻膠換成冰膠，還能夠極大地簡化加工流程。因為冰膠可以通過直接被電子束雕刻、融化或氣化即可去除，所以加工過程中，無需用化學試劑清洗光刻膠，從而規避了洗膠帶來的污染，以及難以洗淨的光刻膠殘留導致良品率低等問題。
“冰刻2.0”，硬件初具雛形
據介紹，仇旻和他的團隊曾在2018年完成了國內首台“冰刻”系統的研發。加入西湖大學後，仇旻帶領科研團隊繼續研發功能更加強大的“冰刻2.0”系統。
在最近的研究中，研究團隊從多個維度入手，不斷提升冰刻技術，並取得一系列新進展。
一方面，該研究團隊掌握了如何在冰刻中精准定位。他們發現，當加工多層式三維立體結構時，可以先使用低強度的電子束，精確定位後再加大強度，正式開始“鏤空”作業。另一方面，實驗室成員還找到了控制冰刻力度的方法。實驗顯示，冰膠去除厚度與電子作用強度呈線性關係。 |
